首先來講，講到真空泵機組的維護與維修，點來講，關(guān)于其充入的保護性氣體，純度上不應(yīng)該小于99.99%。緊接著，就真空泵機組設(shè)備來講，在很大的程度上也就是要注意不允許進行使用易燃易爆與具有腐蝕性氣體作為保護氣氛。

    緊接著，就真空泵機組的維護與維修，關(guān)于設(shè)備表面以及其儀表表面在很大的程度上也就是要注意保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許其出現(xiàn)有帶有水份或者是沾有非真空類用油的抹布進行擦拭。

    接下來，對于真空泵機組上的維護和維修，氣動系統(tǒng)上面的氣動三連件上的油水分離器要注意經(jīng)常放水，油霧器當(dāng)中應(yīng)該是要注意注入真空擴散泵油。且設(shè)備在進行使用的時候，對于整機電壓在很大的程度上也就是應(yīng)該是要保證在350～420 V范圍當(dāng)中。三相要保持平衡。

   再者，我們其實也就是要注意一下真空泵機組上的規(guī)管或者是電接點壓力表與熱偶等地方也就是應(yīng)該要注意經(jīng)常涂上擴散泵油，使它和座之間形成了一層油膜，這樣一來，就能防止設(shè)備出現(xiàn)漏氣的現(xiàn)象。就上述各個部分以及其法蘭連接的地方不允許長期進行使用真空封泥密封，對于各個部分的螺栓也就是要注意定期進行檢查，當(dāng)發(fā)現(xiàn)設(shè)備出現(xiàn)松動的時候，應(yīng)該要及時擰緊。

    后，就真空泵機組進行工作的時候，要注意觀察一下各個儀表上的顯示情況，以及其各個泵的聲音，這樣來講，就其在很大的程度上也就是能方便我們及時的發(fā)現(xiàn)異常，然后方便我們找出問題。再者，就真空泵機組的使用環(huán)境，在相對濕度8處于5%以下，溫度也就是會在10～40℃。